真空氣氛管式爐

一．詳細(xì)介紹

ZKGSL—150—1 真空管式高溫爐以進(jìn)口硅碳棒為發(fā)熱元件，額定溫度1400℃，采用S型單鉑銠熱電偶測溫和日本“島電”溫控儀自動控溫，具有較高的控溫精度（±1℃）。此外該爐具有真空裝置，可在多種氣氛下工作，大大提高了其使用范圍。該爐具有使用溫度高、高精度控溫、等優(yōu)點(diǎn)。爐管材質(zhì)采用優(yōu)質(zhì)耐高溫的剛玉管，專門設(shè)計(jì)用于精密機(jī)械零件熱處理、納米結(jié)構(gòu)的可控生長、氮化硅渡膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、化工材料、陶瓷電容器氣氛燒結(jié)、真空燒結(jié)等。管式爐采用高鋁纖維制品隔熱、保溫，優(yōu)質(zhì)剛玉管爐膛,日本進(jìn)口單回路智能32段（40段）程序溫度控制儀控制，PID參數(shù)自整定，精確實(shí)現(xiàn)溫度的控制。設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能環(huán)保、使用溫度高、壽命長、發(fā)熱件更換方便、操作簡單、維修方便等特點(diǎn)，是理想的科研設(shè)備，其性能達(dá)到國外同類產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)。 

 二．技術(shù)指標(biāo)：

設(shè)備型號：GSL—150—1

最高溫度： 1400℃     

工作溫度： 1350℃

加熱區(qū)長度：300mm

恒溫區(qū): 150 mm

溫度均勻性： ±1℃

爐管實(shí)際尺寸：  Φ50（外徑）×1000mm  （剛玉管）

爐膛材料：  莫來石纖維制品

控制溫區(qū)個(gè)數(shù)：  1個(gè)，S分度熱偶

控溫精度： ≦±1℃，單回路智能32段（40段）程序儀表控制，PID參數(shù)自整定

加熱元件：  優(yōu)質(zhì)硅碳棒加熱

最大加熱功率：  4Kw        

空爐保溫功率：約2Kw

建議升溫速率：   3℃～10℃/min

輸入動力電源：  三相電源，50HZ ，380V±10%；6KW

爐體表面溫升：  ≤60℃。

尺寸: 550 x 380 x 520 mm

凈重: 50 Kg

保修期: 整機(jī)保修一年，相關(guān)耗材除外

  三．標(biāo)準(zhǔn)配件：

四．密封結(jié)構(gòu)

五．可選配件

（一）．真空泵

1.產(chǎn)品型號：GZK-103D

       該系統(tǒng)由前級無油泵，后級分子泵，真空傳感器和電子控制系統(tǒng)和LED液晶顯示組成，此系統(tǒng)是用來抽吸或壓縮空氣和其它無腐蝕性、不溶于水、不含有固體顆粒的氣體，以便在封閉容器中形成真空和壓力，吸入氣體中允許混有少量液體。它被廣泛用于機(jī)械、無油化工、制藥、食品、制糖工業(yè)及電子領(lǐng)域。由于在工作過程中，氣體的壓縮是等溫的，所以在壓縮和抽吸易燃、易爆氣體時(shí)，不易發(fā)生危險(xiǎn)，所以其應(yīng)用更加廣泛。

        另外該系統(tǒng)采用德國產(chǎn)分子泵作為主工作泵，采用德國的機(jī)械泵作為分子泵前級泵，機(jī)械泵內(nèi)部已有有隔斷放氣裝置為非標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)，它主要由連接管道，110分子泵，機(jī)械泵構(gòu)成，通過標(biāo)準(zhǔn)配件連接，全部采用不銹鋼材料，全部電拋光處理。系統(tǒng)設(shè)計(jì)有預(yù)抽功能。

2. 技術(shù)參數(shù)：

泵體積流量N₂:331/S                                                                          壓縮比：10:11                                                                                    最終壓力：≤4.5×10^-5mbar                                                                     功率消耗：140W                                                                                啟動時(shí)間：2min                                                                                        電源要求：90-132/185-265VAC                                                                 環(huán)境溫度：5-32℃                                                                             空氣相對濕度：≤85℃                                                                         工作電壓：220V±10%                                                                         功率：1KW                                                                                    系統(tǒng)極限真空度：1.0×10^-3Pa3.                                                                 外型尺寸：800×600×600mm4.                                                         主要配置：

機(jī)械泵（德國產(chǎn)）                                                                     抽氣速率：4L/S                                                                   電極功率：400W                                                                           極限壓強(qiáng)：6×10^-2Pa

分子泵（德國產(chǎn)）                                                                                抽氣速率：100L/S                                                                    極限壓強(qiáng)：6×10^-6Pa                                                               啟動時(shí)間：＜2min                                                                 額定轉(zhuǎn)速：4300轉(zhuǎn)/分鐘                                                              冷卻方式：風(fēng)冷/水冷

分子泵控制電源（德國產(chǎn)）                                                                     工作電壓：110-240V                                                                  輸出功率：250W                                                                   加速時(shí)間：1min                                                                   輸出頻率：高速740HZ±10%  低速430HZ±10%

真空傳感器（德國產(chǎn)）                                                             工作電壓：220V 50-60HZ                                                      電阻規(guī)阻值：約85Ω                                                          自動保護(hù)（電離）：＞10Pa

KF40高真空手動隔斷閥                                                                    采用氟膠圈密封，快卸法蘭接口漏率達(dá)5×10^-9Pa.m³/s                                            連接管路:采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1×10^-9Pa.m3/s

(二)．產(chǎn)品名稱：多路浮子控制供氣系統(tǒng)

1.主要特點(diǎn)：本配比器適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其是方便三種氣體切換使用，而不會造成大氣進(jìn)入加熱爐管。 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實(shí)用，操作簡便。每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥，安全有保證

2.工作原理：

由氣體鋼瓶輸入兩種氣體，形成A，B兩種組份，經(jīng)過減壓閥減壓，輸出所需流量的氣體，再通過調(diào)節(jié)每一組分的體積流量，輸出預(yù)定比例關(guān)系的混合氣體，達(dá)到加熱爐所需求得氣氛。三個(gè)連接頭可連接二或三只氣體鋼瓶（只能同時(shí)啟用二個(gè)鋼瓶），如：H₂/A_R，H₂/N₂，O₂/N₂等。

嚴(yán)禁氫氣和氧氣同時(shí)供氣，保證安全!

  將配比器進(jìn)口的三個(gè)連接頭直接連接到15MPa的供氣鋼瓶上，其中之一是氫氣專用連接頭，選擇連接好兩種氣體，按順序開啟供氣鋼瓶上閥門、配比器上對應(yīng)高壓截止閥及三只流量計(jì)旋鈕，再旋轉(zhuǎn)減壓閥旋鈕增大氣體壓力，調(diào)節(jié)兩種氣體流量，輸出所需要的壓力和流量。

  本供氣（混氣）系統(tǒng)可用于多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)，尤其方便多種氣體的切換混合使用；氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，操作方便；每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥，安全可靠！本系統(tǒng)廣泛用于CVD供氣系統(tǒng)，氣體保護(hù)燒結(jié)，氣體保護(hù)退火等。

3.技術(shù)參數(shù)：

氣路通道：多通道（可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)通道）

氣路流量控制器： 采用浮子流量計(jì)控制

標(biāo)準(zhǔn)量程：10-100ml/min 、16-160ml/min、 25-250ml/min

接口：Φ6.35,1/4''

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體             

不銹鋼管：Φ6_（外）X Φ4_內(nèi)

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止閥：Φ6.35

混氣罐：Φ80×140mm

(三)．高純氧化鋁坩堝                                                                        提供高純氧化鋁坩堝,分舟型和桶型.